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地址：?？谑懈郯拈_發區D區100廠房PI精密六自由度應用真空環境經典案例
在ANKA同步輻射裝置（卡爾斯魯厄，德國）的NANO光束線中，同步輻射的X-射線衍射和反射可用于研究薄膜在真空條件下的結構屬性，這也是現代材料研究的一部分。
為了在光束線中直接使用，開發了一體化系統，其中脈沖激光用于將固體靶材帶到氣相中，然后使其沉積作為襯底上的一層。光束線PLD系統的特點是激光加熱（可將襯底加熱至1200攝氏度）以及簡便加載。一個特殊特征是：由于樣本操縱器的尺寸小，即使襯底高度較低，也可實現X-射線的較寬角度范圍。
PI六自由度應用同步光束進行脈沖激光沉積(PLD)原位表征
在同步光束進行脈沖激光沉積(PLD)原位表征中，由PI設計的用于高真空的精密六自由度平臺可相對于入射X-射線定位樣本，即10 毫米 × 10 毫米的襯底，使樣本可以0.001度的分辨率繞X和Y軸傾斜±5度。此外，為了補償層厚度差，它可沿Z 軸（即垂直于樣本表面的方向）進行移動，最大移動量為3毫米。同時，系統沿X和Y軸方向的移動量可達 ±6毫米，從而可以掃描到 樣本表面的不同位置。精密六自由度固定在轉臺上，需要時可執行進一步的定位任務。
在瑞典MAXlab的儲存環MAX II處，光束線I811專用于通過X-射線吸收光譜進行材料科學研究以及表面科學X-射線衍射實驗。
PI精密六自由度為X-射線衍射實驗定位真空室
提供一個多用途衍射儀用于表面、界面、薄膜和一般X-射線散射實驗。一個H-850（之前為M-850）標準精密六自由度平臺安裝在衍射儀上，用于將真空室與光束中的樣本對準。由于其具有六個自由度，可在任意方向上定位20至50千克的真空室，且重復精度小于1微米。
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此文關鍵詞：PI六自由度,真空六自由度
